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超純水是指電阻率為18 mω*cm(25℃)的水。超純水是純度極高的水.這是一種工業(yè)用水，用于集成電路行業(yè)清洗半導(dǎo)體原料和器具，制備光刻掩模和硅片氧化的水蒸氣來源。超純水也用于其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等